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Park Systems lanza el Park NX20 300mm, un microscopio de fuerza atómica capaz de barrer completamente obleas de semiconductores de 300 mm, lo cual aumenta enormemente la productividad.


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Park NX20 300mm ― el primer AFM destinado a la investigación capaz de barrer todo la superficie de una oblea de 300 mm (utilizando un plato de sujeción de vacío de 300 mm) y mantener al mismo tiempo el nivel de ruido del sistema por debajo 0.5 angstroms.

«El Park NX20 300mm accede a toda la oblea de 300 mm en una sola carga y realiza mediciones de AFM con bajo nivel de ruido, lo que abre todo un nuevo mundo de posibilidades para automatizar las mediciones sobre obleas de 300 mm», Keibock Lee, Presidente de Park Systems

 

SANTA CLARA, CALIFORNIA, 3 DE AGOSTO DE 2016

Park Systems, líder mundial en la fabricación de microscopios de fuerza atómica (AFM, por sus siglas en inglés) ha presentado hoy el Park NX20 300mm, el primer y único AFM de investigación en el mercado capaz de barrer toda la superficie de obleas de 300 mm, empleando un plato de sujeción de vacío de 300 mm, y mantener al mismo tiempo el ruido del sistema por debajo de 0.5 angstroms (media cuadrática). El Park NX20 300mm funciona con SmartScan™, un nuevo software operativo de Park que dispone de control de barrido automático, e incorpora un «Batch Mode» (modo por tandas), una función que permite a los usuarios realizar de manera automática y personalizada un número ilimitado de mediciones consecutivas en múltiples localizaciones del área de 300 mm x 300 mm. Estas mediciones automatizadas en obleas de 300 mm incrementan enormemente la comodidad del usuario y la productividad en el marco de un laboratorio industrial, donde las comparaciones entre las morfologías superficiales (mediciones de la altura y rugosidad de la superficie) de distintas localizaciones y distintas muestras son muy importantes.

«Actualmente las muestras grandes, con obleas y sustratos de hasta 300 mm, se utilizan mucho en el desarrollo de procesos, el análisis de fallos y la producción. Sin embargo, hasta ahora no existía una herramienta de AFM que permitiera medir con precisión todo el área en una sola carga, y que pudiéramos programar fácilmente para efectuar mediciones de múltiples localizaciones con un solo clic», señala Keibock Lee, presidente de Park Systems. «El Park NX20 300mm accede a toda la oblea de 300 mm en una sola carga y realiza mediciones de AFM con bajo nivel de ruido, lo que abre todo un nuevo mundo de posibilidades para automatizar las mediciones sobre obleas de 300 mm».

El Park NX20 300mm es capaz de explorar mediante AFM toda la superficie de una oblea de 300 mm. Para ello emplea una platina XY motorizada de 300 mm x 300 mm, de manera que el sistema puede acceder a cualquier localización de la oblea de 300 mm. El NX20 300mm de Park es el único instrumento que ―a diferencia de otros productos actualmente en el mercado― puede sujetar una muestra de 300 mm. Por ejemplo, el sistema de la competencia que más se parece al de Park dispone de un plato de sujeción de 300 mm, pero el usuario necesita utilizarlo 9 veces para acceder a toda la superficie de una oblea 300 mm, debido a que la platina XY motorizada solo cubre una área de 180 mm x 220 mm.
El plato de vacío del Park NX20 300mm está diseñado para sujetar muestras con tamaños de entre 300 mm y 100 mm, e incluso puede sostener pequeñas probetas de formas arbitrarias gracias a un agujero de vacío. Los productos que existen actualmente en el mercado solo admiten muestras de 200 mm y obligan a cortar la muestra para mantener los niveles de ruido exigidos en la industria, lo cual es engorroso y hace que compartir el AFM resulte difícil. El nuevo Park NX20 es la solución ideal para laboratorios compartidos en los que se trabaja con muestras de diferentes tamaños, pequeños y grandes, ya que admite desde grandes muestras hasta pequeñas probetas y es compatible con todos los modos y opciones presentes en el resto de productos de AFM de Park.

Park Systems, compañía reconocida por su innovación en metrología a escala nanoscópica, ha recibido en 2016 el «Global Enabling Technology Leadership Award», un prestigioso premio concedido por la firma Frost & Sullivan, gracias a sus tecnologías patentadas. Estas innovaciones, como por ejemplo el software de control SmartScan™ y el True Non-Contact Mode™, otorgan a sus productos una ventaja sobre los de la competencia en términos de facilidad de uso, eficiencia y precisión y han permitido que Park Systems ponga todas las posibilidades de la AFM a disposición de una base más amplia de usuarios, facilitando que investigadores e ingenieros realicen nuevos descubrimientos científicos y avances tecnológicos en disciplinas que van desde la ciencias de la vida hasta la ciencia de materiales o de semiconductores.

"El Park NX20 300mm constituye una nueva demostración de la capacidad de Park Systems para innovar y desarrollar los productos demandados en la industria de semiconductores, un sector con un crecimiento muy rápido y donde el statu quo ya no será suficiente en esta nueva era de avances nanotecnológicos", señala Mariano Kimbara, analista de Frost & Sullivan.

Desde 1997, Park Systems ha añadido importantes innovaciones a su diseño original de AFM, revolucionando los métodos de toma de imágenes y mejorando la experiencia de usuario, lo que explica su éxito arrollador. Park Systems posee 32 patentes relacionadas con la tecnología AFM, entre ellas el True Non-Contact Mode™ (modo real sin contacto) que emplea escáneres XY y Z desacoplados; las mediciones de PTR (pole-tip recession, la distancia entre el cabezal y el plato del disco) aplicables a disco duros; la tecnología NX-Bio, que utiliza la microscopía de barrido por conductancia de iones (SICM) en células vivas; la AFM en 3D y el software de control SmartScan™, que permite automatizar completamente la adquisición de imágenes mediante AFM, haciendo que cualquiera pueda tomar fácilmente imágenes de una muestra con resolución nanométrica y una nitidez comparable a las tomadas por un experto.

Park Systems cuenta con una toda una gama de sistemas de AFM que ofrecen soluciones a investigadores e ingenieros industriales de campos como la física, la química, la ciencia de materiales, las ciencias de la vida, los semiconductores o el almacenamiento de datos. Park cuenta con la confianza de miles de prestigiosas instituciones académicas y de investigación de todo el mundo, y es una compañía reconocida por su carácter innovador en tecnologías a escala nanométrica.

 

Acerca de Park Systems

Park Systems es una compañía líder mundial en la fabricación de sistemas de microscopía de fuerza atómica (AFM), que dispone de toda una gama de productos para investigadores e ingenieros industriales de campos como la física, la química, la ciencia de materiales, las ciencias de la vida, los semiconductores o el almacenamiento de datos. Más de un millar de instituciones y compañías de todo el mundo utilizan los productos de Park. La AFM de Park proporciona datos de la mayor precisión con resolución nanométrica, una mayor productividad y menores costes de operación gracias a sus tecnologías únicas y su ingeniería innovadora. Park Systems, Inc. tiene su sede en Santa Clara, California, mientras que las oficinas centrales de producción e I+D se encuentran en Corea. Park dispone de puntos de venta y servicios de asistencia en todo el mundo, con sedes regionales en los EE.UU., Corea, Japón y Singapur, y socios distribuidores en Europa, Asia y América. Para más información, visite http://www.parkafm.com o llame al 408-986-1110.